立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）技術(shù)特征

采用先進的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍??；

全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；

可選配新設計的防腐蝕真空機組，持續(xù)工作時間長，維修率極低；

使用工藝氣氛：真空/CH₄/H₂/N₂/Ar/BCI₃/NH₃/MTS。

立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）產(chǎn)品規(guī)格

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。

立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬

熱電偶：K/N/C/S分度號

真空泵：機械泵組/耐腐蝕泵組